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作者: sxs112.tw
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[業界新聞] 4nm製程下半年量產,Intel的EUV光刻機正式安裝:10億一台

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根據Intel之前公佈的路線圖,Intel 4製程會是他們首個使用EUV光刻機的製程,下半年量產,他們從ASML購買的EUV光刻機現在正式開始在愛爾蘭的工廠安裝,這是Intel第二個、歐洲首個EUV製程晶圓廠。

Intel前幾年就在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠投資70億美元升級,主要是為Intel 4製程準備的,原先該製程是7nm,去年改名之後就等效於其他廠商的4nm EUV製程了,也是Intel首個使用EUV光刻機的製程。
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今年1月底Intel就在Fab 34晶圓廠安裝了光刻膠顯影設備(lithography resist track),不過它還不是真正的EUV光刻機,現在才開始安裝EUV光刻機,要為下半年的量產做準備了。目前Intel表示約有100多名ASML的工程師進駐工廠協助安裝,同時Intel也從美國俄勒岡州的工廠中派來了工程師培訓愛爾蘭當地的員工,教導他們使用EUV光刻機。

Intel沒有公佈這款光刻機的具體型號,不過ASML最新的EUV光刻機超級貴,均價10億元左右,先進製程晶圓廠的投資都是幾十億美元甚至上百億美元等級的。

Alder Lake 12代Core、Raptor Lake 13代Core都是Intel 7製程(10nm ESF),Meteor Lake 14代Core和代號Granite Rapids的下下代XEON都將用上Intel 4製程,今年下半年就要量產,不過14代Core上市還要到2023年。

消息來源

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clouse 發表於 2022-4-8 23:59:00 | 只看該作者
Intel 4製程=7NM
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