ASML新一代EUV光刻機上路：單價超過四億美元

EDA和光刻機可以說是晶片研發、生產設備皇冠上的明珠。最新消息稱荷蘭ASML正在研發新款光刻機，價值高達4億美元，雙層巴士大、重超200噸。原型機預計2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出貨。

這款機器應該指的就是High-NA EXE:5200（0.55NA），Intel是全球第一個下單的公司。所謂High-NA也就是高數值孔徑，2nm之後的製程都得依賴它實現。在ASML公佈的今年一季財報中，EXE:5200已經訂出去不止一台。按計劃第一台原型試做機2023年開放，預計由IMEC（比利時微電子研究中心）裝機，2025年後量產第一台預計交付Intel。

據了解實際上ASML的EUV光刻機非常龐大，現售的0.33NA EUV光刻機擁有超過10萬個零件，需要40個海運集裝箱或者4架噴氣貨機才能一次性運輸完成，單價1.4億美元左右。

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