作為半導體行業最重要的生產設備,光刻機實在太重要了,整個芯片生產1/3的時間及成本都耗費在光刻上,EUV光刻機更是只有荷蘭ASML一家公司能產,單台售價超過10億美元,這個生意一般人做不了。
半導體工藝在7nm及以上的時候,不用EUV光刻機也能製造,就是成本有點高。目前對EUV光刻機有需求的廠商就三個——Intel、台積電、三星,其中後兩家的EUV工藝已經量產,Intel的要到2021年7nm工藝上才會用到EUV光刻機。
那這三家公司對EUV光刻機有多少需求?根據ASML提供的計算方式,每月4.5萬片晶圓、一層EUV光刻的話就需要一台光刻機。
再根據Intel、三星、台積電三大廠商潛在的產能需求來算,他們需要的EUV光刻機大概是300到600台,按照6年折舊期的話,每年需求量在50-100台EUV光刻機之間。
全球最先進的工藝竟然只需要50-100台光刻機就能搞定?聽上去有些少,但確實如此,EUV光刻機非常重要,但它並不是一個很大的市場,ASML的主力營收依然是非EUV光刻機。
今年他們的數據,2019年出貨了26台EUV光刻機,2020年之前預計出貨35台,現在因為經濟放緩,35台EUV光刻機難說能保證了。
即便是到了2021年全球EUV產能大爆發的時候,他們的EUV光刻機交付量也就是45-50台,比測算出來的數據要低很多。
ASML的EUV光刻機單台售價約為1.2億歐元,差不多是10億人民幣,但全球每年的EUV光刻機市場也就500億人民幣左右,並不是一個大市場。
但從技術上來說,EUV光刻機的研發花費的資金遠不止500億了,從原型到現在差不多有20年了,直到現在EUV光刻機還沒有達到完全體,在生產能力上還沒有達到傳統DUV光刻機的水平。
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