台積電回應上萬片晶圓被污染：光阻原料所致不影響業績

zona · 發表於 2019-1-30 14:49:24

對於晶圓污染事件，台積電方面昨天發表公告，稱出問題的主要是一批光阻原料，台積電已經跟客戶做了溝通，這件事暫時不會影響Q1季度業績，Q1產能追不回來也會在Q2季度追回來。

去年台積電的晶圓廠爆出了電腦病毒事件，導致旗下多個晶圓廠停工，最終損失26億新台幣，雖然損失比之前預期的少很多，對全年基本沒影響，但是生產安全事故對台積電的形像很不利。前兩天台積電又爆出了晶圓污染事件，損失尚無明確統計，此前說是上萬片晶圓被廢，最誇張的報導則說有9萬片晶圓被污染，損失高達200億新台幣。對於這個問題，台積電方面昨天發表公告，稱出問題的主要是一批光阻原料，台積電已經跟客戶做了溝通，這件事暫時不會影響Q1季度業績，Q1產能追不回來也會在Q2季度追回來。

半導體芯片的生產製造是個複雜的過程，除了需要光刻機、蝕刻機等設備之外，還需要大量的半導體材料，其中最高的就是大矽片，也就是生產晶圓芯片的基礎，它能佔到半導體材料市場價值的1/3，還有就是工廠所用的高純度氣體、光罩及光阻材料，所以光阻材料在整個半導體材料中佔比還是很靠前的，2016年統計數據顯示光阻材料佔半導體材料市場的5%份額。

台積電這次的晶圓污染就出在光阻材料上，台積電他們本月19日就發現南科的Fab 14B晶圓廠的12nm、16nm工藝良率出了問題，排查後發現問題出在光阻材料上，這批原料是他們合作多年、經驗豐富的廠商供應，之前一直沒有問題，但這批材料的規格與過去有相當大的差距。
台積電沒有公佈這家原料供應商的名字，不過他們的光阻原料主要來自日本信越、日本JSR與美國陶氏化學，目前還不確定是這三家中的哪一家或者是還有別家供應商。

至於這次晶圓污染導致的影響，台積電方面表示出事之後已經立即停用這批原料，並通知受到影響的客戶，過去10天中已經跟客戶密切溝通，具體到了補貨及交付日期等細節問題。台積電根據目前的12/16nm產能利用率表示Q1季度就能追回大部分損失產能，即便Q1無法補回，Q2季度也會追回來，重申此單一事件還不會影響Q1季度的財報預測。

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[業界新聞] 台積電回應上萬片晶圓被污染：光阻原料所致不影響業績