美商吉時利(Keithley)推出3.2版ACS(Automated Characterization Suite)軟體,支援半導體元件測試,以及元件、晶圓、晶舟層級特性分析的功能。3.2版本加入強大的多部位並行測試(Multi-site Parallel Test)能力,大幅提升ACS整合式測試系統的自動化功能,除適用於晶粒分類與新型晶圓層級座標定位等應用,也能支援該公司新款具備1fA電流量測解析度的Models 2635與2636 System SourceMeter儀器。這些新功能組成一個符合高測試彈性與產能速度,且極具價格效益的測試解決方案,同時該方案也適用於實驗室和生產設定等無人操作的環境。
新型半導體技術要求花費更少的作業時間與資源、執行更多測試並具備更強資料收集的能力。為符合此需求,不用針對個別生產線開發量測方案,而以一組現成軟體套件即可驅動的電源量測單元(SMUs),仍是最具成本效益也最具彈性的選擇。3.2版自動化特性分析套件(Automated Characterization Suite, V3.2),即為一套完備的軟體套裝,且包含許多現成的應用程式,能與Keithley Model 4200-SCS、2600系列System SourceMeter Instruments及其他SMU架構的系統完美搭配,有效縮短產品上市時程同時減省整體測試成本。
3.2版ACS能針對晶舟層級進行自動化作業,支援更多無人操作的測試功能,收集大量的統計資料樣本,進行模型建立與流程檢驗,提高工具的使用效率。ACS用一種邏輯與實體元件的定義方式,讓系統能並行測試電路結構與元件。之後再透過測試執行流程,把測試結果對應到邏輯部位。並行測試的執行選擇,僅須點選幾次滑鼠鍵,就能從序列測試模式切換至真的並行測試模式。
吉時利網址:www.keithley.com.tw
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