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作者: sxs112.tw
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[業界新聞] 都在掌控中! ASML暗示可遠程癱瘓旗下光刻機背後:收錄最先進EUV

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sxs112.tw 發表於 2024-5-22 20:30:34 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
據外媒報導稱ASML聲稱可以遠程癱瘓旗下售出的光刻機,這引來網友的圍觀。

現在報導中有給出了更多有趣的細節,例如ASML表示可以遠端癱瘓(remotely disable)對應機器,包括最先進的極紫外光刻機(EUV)。消息人士稱EUV需要頻繁維護,如果沒有ASML提供的備用零件,這些機器很快就會停止運作。
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此外EUV的現場維護要求很高,它們被安置在無塵室內,需要工程師穿著特殊的套裝以避免污染。報告中也提到ASML為某些客戶提供聯合服務合約,讓其進行一些日常維護(對機器內部),但無法存取客戶機器內的專有資料。

在這之前ASML公司CEO就曾明確表示目前公司沒有理由不為已經出售給中國客戶的設備提供服務,他們在中國安裝的設備沒有服務限制。

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