提前了？ASML新一代極紫外光刻機，計劃明年年中出貨

10月15日消息據國外媒體報導，已經推出了兩款極紫外光刻機的ASML，正在研發第三款，計劃在明年年中開始出貨。

ASML是在第三季的財報中，披露他們全新的極紫外光刻機計劃在明年年中開始出貨的，型號為TWINSCAN NXE:3600D。在財報中ASML表示他們已經敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規格，其生產效率將提升18%，在30mJ/cm2的曝光速度下每小時可處理160片晶圓。

值得注意的是在2019年的年報中，ASML就曾披露他們在研發新一代的極紫外光刻機，不過當時並未披露具體的型號，他們在年報中披露的計劃出貨時間是2022年年初，2024或者2025年大規模生產。第三季財報中披露在明年年中開始出貨的TWINSCAN NXE:3600D，如果是他們在年報中提到的那一款，也就意味著出貨時間較原計劃提前了半年。

極紫外光刻機是7nm和5nm製程所必不可少的設備，目前全球只有ASML能供應。台積電、三星這兩大晶片代工商的製程都已提升到了7nm和5nm，他們所需要的極紫外光刻機也全部仰仗於ASML，全新的TWINSCAN NXE:3600D的首台，預計也會交由這兩家代工商中的一家。

ASML目前在售的兩款極紫外光刻機分別是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，採用的都是波長為13.5nm的極紫外光源，20mJ/cm2的曝光速度下，前者每小時可處理125片晶圓，後者則可達到170片。

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