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作者: sxs112.tw
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[業界新聞] 台積電買下市場上50%的EUV光刻機,貢獻了60%的產能

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sxs112.tw 發表於 2020-8-29 00:05:01 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
在本週召開的台積電技術研討會上,最重要的中心訊息之一是,該公司在半導體製造領域處於世界領先地位,特別是在領先的製程技術領域。

為進一步傳達訊息,台積電展示了一張幻燈片,指出了它與其他產品的相對位置:通過結合ASML的聲明和自己的內部採購單,台積電預測他們已安裝了全世界約約50%的EUV機器。
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除此之外該公司還擁有約60%的EUV晶圓累計生產量。大型晶圓廠目前已知的公開EUV製程包括TSMC的7+和N5,以及三星的7LPP(及以下任何產品),Intel的EUV努力僅在明年進入其自己的7nm產品組合。這些流程之外的任何前端技術都將繼續擴大EUV的使用範圍。

與常規DUV機器相比,EUV機器的吞吐率通常較低,每小時約為120-175片晶圓,最新版本可以達到275 wph,但是由於1層EUV通常可以代替3-4層DUV,因此吞吐率更高。但是對於這些代工廠來說,渴望擴展到多個EUV機器以增加晶圓的物理數量是一個迫切的目標 。

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