三星和LG將用ALD技術產柔性屏 延長使用壽命

三星顯示器公司與LG Display準備在柔性OLED薄膜封裝過程中採用ALD（原子層沉積）技術，兩家公司已經與合作夥伴合作，在內部採購並驗證ALD設備。如果採用ALD技術，就可以更好保護有機材料，減少氧、水的影響，從而提高柔性OLED面板的壽命和性能。

據產業人士透露，三星顯示器和LG Display正準備在柔性OLED生產流程中採用ALD技術。Jusung Engineering、WONIK IPS、AP System和TES擁有ALD技術和設備。LG Display已經完成對ALD的研究，準備將它用於柔性OLED生產；三星顯示器也在加速部署ALD技術。

兩家公司完成了ALD技術的研發，它們正在考慮實際引入ALD的可能性，因為它們正在向柔性OLED生產設施投資。企業的研發已經完成，開始進入商用階段。

OLED是有機材料，它存在缺陷，比如，OLED對水和氧的防護比較弱。為了保護OLED，製造商會在OLED之上鋪上許多層的薄膜，減少水和氧的侵蝕。具體鋪多少層？不同的製造商有不同的標準，一般而言，製造企業會用一種名叫“Vitex”的方法在OLED之上鋪蓋有機薄膜和無機薄膜，交疊進行，各自3-5層。。

在無機薄膜封裝過程中，企業一般使用PECVD（等離子體增強化學汽相沉積）、濺射、ALD技術；如果是有機薄膜沉澱，使用的是Kateeva的噴墨列印技術。為了生成無機薄膜，三星和LG採用PECVD技術。

為什麼兩家企業現在才考慮用ALD技術替代PECVD？因為壽命和性能對於柔性OLED來說越來越重要。另外，柔性OLED螢幕的生產力下降，需求增長也是一個問題。

ALD技術是CVD（化學蒸汽沉積）技術的一種，它交替噴射原材料（包括ALD金屬和反應氣體）從而形成原子薄膜層。MLD技術（分子層沉積）可以形成有機材料分子層，兩者結合就可以形成多層屏障，保護OLED，使之免受水和氧的侵蝕，即使在低溫下也可以形成。

在螢幕生產過程中引進ALD技術有一些優勢，例如，它可以減少雜質，形成厚度相同的薄膜。ALD技術可以塗上高品質薄膜層，保護效果明顯增強。如果無機薄膜的厚度不同（只有幾納米的差別），層層疊加，總薄膜厚度、滲水率就會受到影響。除此之外，與現有的CVD方法相比，ALD技術還可以採用各種不同的薄膜，這也是它的一個優勢。

半導體產業追求精細工藝，ALD成為它們追捧的對象。不過顯示幕產業一直對ALD保持猶豫態度，因為它的成本比PECVD高，大面積使用也存在一定的問題，沉積速度不夠快。最近一段時間問題已經部分解決，正因如此ALD才會真正投入使用。

一名產業代表稱：“雖然ALD和PECVD不可同日而語，但是ALD的沉積速度比PECVD慢了大約10倍。因為沉積速度慢，生產效率也很低，大面積應用有困難，這些都是主要的障礙，之所以真正引進ALD技術，主是是考慮到它可以形成更薄的高品質薄膜。”

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