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ASML宣布與比利時微電子研究中心合作加速推進新一代光刻機

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發佈時間: 2023-6-30 16:21

正文摘要:

比利時微電子研究中心(IMEC) 與ASML共同宣布雙方將在開發先進高數值孔徑(High-NA)極紫外(EUV)光刻試驗線的下一階段加強合作。按照ASML的說法,2025年開始客戶就能從數值孔徑為0.33傳統EUV多重圖案化,切換到數值 ...

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