台積電買下市場上50%的EUV光刻機，貢獻了60%的產能
在本週召開的台積電技術研討會上，最重要的中心訊息之一是，該公司在半導體製造領域處於世界領先地位，特別是在領先的製程技術領域。為進一步傳達訊息，台積電展示了一張幻燈片，指出了它與其他產品的相對位置：通過結合ASML的聲明和自己的內部採購單，台積電預測他們已安裝了全世界約約50％的EUV機器。
除此之外該公司還擁有約60％的EUV晶圓累計生產量。大型晶圓廠目前已知的公開EUV製程包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何產品），Intel的EUV努力僅在明年進入其自己的7nm產品組合。這些流程之外的任何前端技術都將繼續擴大EUV的使用範圍。
與常規DUV機器相比，EUV機器的吞吐率通常較低，每小時約為120-175片晶圓，最新版本可以達到275 wph，但是由於1層EUV通常可以代替3-4層DUV，因此吞吐率更高。但是對於這些代工廠來說，渴望擴展到多個EUV機器以增加晶圓的物理數量是一個迫切的目標 。
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