改用Gate-Last，IBM展示業界首塊20nm製程晶圓

sxs112.tw · 發表於 2011-1-25 22:38:49

在Common Platform 2011技術大會上，IBM展示了其業界首塊採用20nm製程的晶圓。據稱該晶圓不但使用了20nm LP HKMG製程，還採用了Gate-Last技術。

IBM方面並沒有透漏該塊晶圓將用於製作何種晶片。據我們所知，英特爾從45nm製程開始就堅持使用Gate-Last技術，台積電亦決定從28nm開始引入。而IBM在32nm/28nm製程及之前一直堅持使用Gate-First，直至現在20nm製程卻進行了大轉折改用了Gate-Last，至於具體原因我們就不得而知了。Gate-Last(後柵極)、Gate-First(前柵極)是實現HKMG結構電晶體的兩大技術流派，它們的主要在於矽晶片漏/源區離子注入、高溫退火和金屬柵極形成的先後，其中Gate-Last指的就是先完成前兩步後再進行金屬柵極形成的操作。

author · 發表於 2011-1-25 23:05:58

不知道 20nm 與 28nm 差幾倍..

knighter9999 · 發表於 2011-1-25 23:10:15

越做越小囉~~~~

allen972523 · 發表於 2011-1-25 23:51:27

20ns...應該先被抓去做伺服器的...
可能要過個幾年才會在出來SAY HEOLLO

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