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作者: sxs112.tw
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[業界新聞] 搶先下單3億一台的下代EUV光刻機 Intel表態:再延期也有B計畫

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sxs112.tw 發表於 2022-2-22 19:59:27 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
做為IDM 2.0戰略的一部分,Intel上周公佈了野心勃勃的產品及技術製程圖,其中先進製程的升級換代非常激進,不到4年內就要升級5代製程,而且從2025年開始的新一代製程開始會首發新一代的EUV光刻機,價格超過3億一台。
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Intel之所以這麼激進,是因為在搶先使用EUV製程上吃過虧,他們原本計畫在10nm就上EUV製程的,但是EUV光刻機當時還不成熟,隨後被台積電、三星搶先了,陰差陽錯之下製程落後了。Intel現在的計畫是在Intel 4製程(之前的7nm)中使用EUV光刻機,計畫今年下半年投產,首發產品是2023年的14代Core Meteor Lake處理器。

現在的EUV光刻機還是NA 0.33技術的,Intel的重點押注在了下一代EUV光刻機,也就是NA 0.55的ASML新一代光刻機,據說成本高達3億美元。實際上4年來Intel實際上已經下單了6台NA 0.55的EUV光刻機,其中分為兩種,Twinscan Exe:5000系列主要用於製程研發,產能輸出是185WPH,每小時生產185片晶圓,2023年上半年交付。

量產型的NA 0.55光刻機是Twinscan Exe:5200,產能提升到200WPH,每小時200片晶圓,預計會在2024年下線,Intel的20A製程正好是在2024年量產。不過Intel這次搶先下單不怕下代EUV光刻機延期嗎?對於這個問題,主管Intel製程技術的高管Ann Kelleher日前在採訪中也談到了這個可能性,但她表示就算延期了也不會讓公司破產,而是有個B計畫。

至於Intel的B計畫怎麼解決新一代EUV光刻機跳票問題的,這就沒有明確資訊了。

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