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作者: sxs112.tw
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[業界新聞] ASML完成第100台EUV光刻機出貨：2021年產能將大增

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sxs112.tw 發表於 2021-1-2 22:04:59 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
台積電和三星均已投入5nm製程的量產，前者代工的產品包括蘋果A14、M1、華為麒麟9000等，後者則包括Exynos 1080、驍龍888等。其實從7nm開始，台積電和三星就開始導入EUV光刻，但過程層數較少。按照ASM的說法，更新到5nm後，EUV的層數達到了10~14層，包括但不限於觸點、過孔以及關鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm，對EUV的依賴將更甚。
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根據最新數據顯示ASML在12月中完成了第100台EUV光刻機的出貨。更加利好的消息是業內預估ASML今年（2021年）的EUV光刻機產能將達到45~50台的規模。

畢竟2019年ASML僅出貨了26台，去年第三季後全年累計出貨23台（全年預估35台），可謂少得可憐。另外ASML定於明年中旬交付最新一代EUV光刻機TWINSCAN NXE:3600D，生產效率提升18%、機器對應套準精度改進為1.1nm，單台價格將高於舊款的1.2億歐元。

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