在荷蘭政府與美國結盟並擴大對ASML生產的其他機器的監管之後,中國試圖依靠舊機器來加強國內晶片製造的努力今天受到了打擊。 ASML最新的使用紫外線印刷電路的晶片製造機器被稱為EUV掃描儀,已經被荷蘭和美國限制向中國出售。
然而一些較舊的機器只受到美國的限制,由於外國政府對荷蘭製造的產品施加影響,這引發了荷蘭主權的問題。在荷蘭政府採取這項最新措施之前,中國截至今年7月在晶片製造設備上的支出達到創紀錄的260億美元。雖然美國和荷蘭對EUV掃描儀的製裁實際上削弱了中國透過3nm和5nm等製程技術製造尖端晶片的能力,但較舊的DUV掃描儀使中芯國際等中國公司能夠製造7nm晶片。
荷蘭貿易部長Reinette Klever今天宣布了這一決定,並表示由於技術發展,這些特定生產機器的出口存在更多安全風險。在部長宣布這一消息後,該公司在一份聲明中證實這些有問題的機器是ASML的TWINSCAN NXT:1980Di 和 TWINSCAN NXT:1970Di工具。
1980Di尤其註重多重圖案。 ASML在其網站上的掃描器產品簡介指出該機器滿足多種圖案化要求,從而為我們的客戶提供了針對先進節點的經濟高效的解決方案。
隨著1980i DUV系統添加到荷蘭政府的出口管制許可證要求清單中,ASML的第一層DUV產品組合已完全滿足許可證要求。 1980i是DUV掃描器的最低階,稱為浸沒式機器。這些是業界使用最廣泛的掃描儀,每天能夠生產6,000多個晶圓。這些機器還可以透過套件升級到下一代EUV掃描儀,在今天宣布之後ASML將不得不向荷蘭政府請求出口機器的許可證,而不是向美國政府請求。
ASML表示新規定將於明天生效,並補充說由於該公司已經必須尋求美國政府對機器出口的批准,因此荷蘭制裁對其造成的財務影響微乎其微。
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