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ASML介紹新一代高NA EUV光刻機:晶片縮小1.7倍、密度增加2.9倍

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發佈時間: 2021-12-13 23:01

正文摘要:

按照業內預判2025年前後半導體在微縮層面將進入埃米尺度(Å,angstrom,1埃 = 0.1nm)。根據ASML(阿斯麥)透露的最新資訊,第一台原型試做機2023年開放,預計由IMEC(比利時微電子研究中心)裝機,2025年後量產, ...

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