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ASML拒絕新一代EUV光刻機跳票:找到日本巨頭技術馳援

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發佈時間: 2021-6-9 20:34

正文摘要:

日前傳出ASML新一代光刻機EXE:5000跳票到2025年之後的消息,但似乎荷蘭人已經找到幫手幫自己提速。 日本最大半導體成膜、蝕刻設備公司東京電子(東京威力科創,Tokyo Electron)宣布,將在鍍膜/顯影技術上與ASML合 ...

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