ASML是全球唯一一家量產EUV光刻機的廠商,台積電、三星、Intel的7nm、5nm及未來的3nm、2nm皆需仰賴EUV光刻機,單台售價超過1億美元,成本極高。 ASML EUV光刻機目前使用的仍是第一代,EUV光源波長在13.5nm左右,物 ...