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Canon、Nikon為何造不出EUV光刻機?ASML說出原因

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發佈時間: 2021-3-16 18:46

正文摘要:

ASML艾司摩爾已經成為了全球第一大光刻機廠商,而且最尖端的EUV光刻機更是獨家壟斷。 日前,與媒體交流時,ASML技術開發中心副總裁Tony Yen確認了之前外界的猜測,其表示EUV光刻機目前有三大客戶,分別就是台積電、 ...

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