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2021年ASML將推下一代EUV光刻機，將針對2nm、1nm製程

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sxs112.tw
發佈時間: 2020-2-17 19:58

正文摘要:

作為全球唯一能生產EUV光刻機的公司，荷蘭ASML公司去年出售了26台EUV光刻機，主要用於台積電、三星的7nm及今年開始量產的5nm製程，預計今年出貨35台EUV光刻機。 目前ASML出貨的光刻機主要是NXE:3400B及改進型的NX ...

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