在 2019 中國積體電路設計大會上,中國科學院微電子所的院士劉明,談到中國大陸國內積體電路光刻技術的一些技術與進展。 劉明院士在會上表示 : 我國在 EUV 光源、多層膜、掩膜、光刻膠、超光滑拋光技術等方面近期雖 ...