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台積電加速發展新工藝 目前3nm EUV工藝進展順利，已有早期客戶參與

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Jenny
發佈時間: 2019-7-24 17:26

正文摘要:

近兩年先進半導體製造終於迎來了EUV光刻機，這也使7nm之後的工藝發展得以持續進行下去。台積電和三星都對自家工藝發展進行了規劃，現在兩家已經逐步開始進行7nm EUV工藝的量產，隨後還有5nm工藝及3nm工藝。 儘管我 ...

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