半導體業界等待EUV光刻設備已經很多年了,荷蘭ASML公司正在出貨量產型EUV設備,預計在2016年的10nm節點上正式啟動EUV製程。但跟傳聞中Intel搶先使用EUV製程不同,TSMC台積電反倒是部署EUV製程最積極的一個,他們將在 ...