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作者: Gary71
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[業界新聞] 買不起真的可以買模型 ASML推出High NA EUV樂高

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微影製程設備製造商ASML近日於其官網紀念品商城推出了一款特別的產品:High NA EUV曝光機TWINSCAN EXE:5000樂高模型套組,定價227.95美元,約新台幣7400元。

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此款樂高模型由ASML員工兼樂高愛好者Rick Lenssen設計,包括851個零件,尺寸為352mm x 99mm x 64mm,精確復刻了最先進曝光機TWINSCAN EXE:5000外觀。

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High NA EUV曝光機是全球首款採用0.55NA數值孔徑的曝光機,解析度達到8nm,成像對比度相較之前的NXE系列0.33NA EUV系統高出40%,支援2nm邏輯節點圖案化,單價高達3.5億歐元。

Rick Lenssen之前曾費時2.5年時間(1.5年設計藍圖、1年實際組裝)用樂高積木復刻了ASML費爾德霍芬主園區,並推出過多款ASML主題的樂高套組產品。

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