台積電2nm製程進入研發階段:升級GAA電晶體管、改進EUV效率
做為全球最大最先進的晶圓代工廠,台積電在7nm、5nm上領先三星等對手,明年面還會量產3nm,接下來則是2nm。台積電計劃未來三年投資1000億美元,其中先進製程花費的資金最多,2nm也是前所未有的新製程,台積電去年稱2nm取得了重大進展,進度比預期的要好。實際上台積電的2nm沒有宣傳的那麼誇張,此前只是技術探索階段,尋找到了可行的技術路徑。現在2nm才算是進入了研發階段,重點轉向了測試載具設計、光罩製作及矽試產等方向。
根據台積電的說法2nm上,他們也會放棄FinFET電晶體管結構,轉向GAA環繞柵極結構,此前三星更為激進,在3nm就會棄用GAA電晶體管,不過這兩家的GAA晶體管結構也不會一樣,孰優孰劣還沒定論。在2nm上,光刻製程更加重要,EUV光刻是少不了的,但此前的EUV還存在不少問題,台積電的2nm也會重點改進EUV製程,提高光刻中的品質及效率。
至於量產時間,台積電的2nm現在還在起步階段,此前消息稱是2023年試產2nm,2024年量產。
消息來源
頁:
[1]