繼三星之後，SK hynix也要在記憶體上使用EUV光刻機
ASML的EUV光刻機已經成為7nm以下製程的關鍵了，三星、台積電、Intel都在購買單價高達10億元的EUV光刻機用於生產。除了CPU之外，記憶體製程也會逐步導入EUV光刻機，三星之後SK hynix也要這麼做。據韓國媒體報導，全球第二大DRAM供應商SK hynix已經在研發1a nm製程的記憶體，內部代號“南極星”，具體節點大概在15nm，預計會導入EUV光刻機生產。對記憶體來說它跟CPU邏輯製程一樣面臨著需要微縮的問題，EUV光刻機可以減少多重曝光製程，提供製程精度，從而可以減少生產時間、降低成本，並提高性能。
不過記憶體使用EUV製程問題也不少，首要問題就是EUV光刻機售價太高，10億一台，還要考慮到維護費用，所以初期要承擔不小的成本壓力。目前SK hynix最先進的記憶體製程主要是1y、1z nm，今年下半年這兩種製程將占到40%的產能比重。
消息來源
頁:
[1]